1. 硬件指标：

★1.1.硬件基于高速数字信号处理器（DSP）技术，扫描频率不低于100Hz。

1.2.图像分辨率不低于4096*4096。

1.3.配备多个用于三维高速扫描成像控制器。

1.4.全程三轴式自动进样。

★1.5.高速数据收集和控制系统，用于连接多种装置并且自动进行信号通道切换。

1.6.提供专业工具箱，内含常用工具及多种模式测微头。

1.7.提供通用样品台，样品尺寸最大为直径45 mm。

1.8.采用以太网TCP/IP协议通讯接口。

1.9.需提供一个在线及控制软件使用许可。

1.10.配套提供专用处理系统一套： 12核24线程，双路，64G内存可扩招，不少于512G SSD，不低于2T硬盘，p2000以上型号显卡，配键盘鼠标显示器，已预装好Windows 系统和专业应用及后处理软件。

2. 软件指标：

★2.1.基于Windows 系统的软件包，32位架构。使用Microsoft Visual C#语言形式，方便用户设定参数，进而实现全自动运行。

2.2.具有数据导出存储功能及同步功能，可直接获取原始数据，支持多达4个相关图像同步处理。

★2.3.具有各种精细测量及表征功能，图像几何变换、三维分析及重建。

2.4.具有文件管理功能，常用参数可以自定义文件名保存，日后使用可随时调用。

2.5.图形自动对准，用户可手动完成，或全自动方式完成。

2.6.集成的图象采集、测量、处理功能。

★2.7.可扩展扫描隧道显微镜和扫描微电极联用测量系统及其测量技术，实现电极表面结构-电化学性质原位同时测量

★2.8. 可扩展磁力显微镜/静电力显微镜，成像模式包括：形貌像、抬起振幅像和抬起相移像，工作频率：50kHz~500kHz